管式等离子体多晶硅淀积炉

  技术特点  Features  

· 隧穿氧化层、、i-poly、、、、D-poly 三合一同管完成，，减少工艺环节，，，，有效提升良率、、、、降低碎片率。。

· 无热壁特性，，，石英管使用寿命长。。

· 绕镀轻微，，易去除
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· 精准掺杂、、可引入其它提效掺杂元素，，
，，工艺拓展、
、
、提效空间大。。。

· 防导通专利技术
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